佳能发售适用于i线和KrF 半导体光刻机的配件新品

中国海西网www.31489761.com 2017-12-14 14:42:55 作者 来源

2017年12月11日 佳能正式发售适用于i线半导体光刻机“FPA-5550iZ2”1和KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”2的新产品——“200mm Option”

i线半导体光刻机“FPA-5550iZ2”2016年12月发售和KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”2012年4月发售两款设备自发售以来在存储器逻辑电路图像传感器等物联网和车载半导体元件生产制作等方面的优势备受业界好评从即日起佳能将正式发售两种机型通用的新品配件——“200mm Option”

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在存储器和微处理器等半导体元件的制造领域需要采用先进的微细加工?#38469;?#30446;前通常采用的是300mm晶圆规格随着物联网应用和车载设备的迅速普及该领域的半导体元件市场需求也不断扩大而这个领域的半导体元件需要利用成熟的工艺进行多品种少量的生产因此元件制造厂商迫?#34892;?#35201;能够应对200mm晶圆需求的设备

佳能发布对应200mm 晶圆需求的新品配件"200mm Option"能够通用于i线半导体光刻机“FPA-5550iZ2”KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”,更广泛地满足客户需求

实现业界高水准3的高生产效率

通过配备“200mm Option”在200mm晶圆规格下“FPA-5550iZ2”和“FPA-6300ES6a”最快曝光处理速度分别达到每小时230片4和每小时255片5在实现了同级别光刻机中高水准生产效率的同时也满足了降低CoO6半导体制造设备投资和使用所需成本的需求

在统一化平台上可以轻松升级解决方案并使其多样化

“FPA-5550iZ2”“FPA-6300ES6a”自发售以来由于使用了安全高品质的统一平台, 因此能够为运行中的设备提供解决方?#31119;?#20026;提高生产效率和重合精度实现?#20013;?#21319;级

为不断满足客户提高生产效率的需求佳能今后也会?#20013;?#22320;为半导体光刻机提供更加多样化的解决方案和升级服务

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